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Trifluoruro di cloro – Con la formula ClF3, il trifluoruro di cloro è una sostanza interalogena. La forma più comune in cui viene venduto questo gas incolore, mortale, caustico e intensamente reattivo è come un liquido giallo-verdastro pallido (pressurizzato a temperatura ambiente). A causa della sua natura corrosiva, il composto è di particolare interesse nei processi di pulizia e incisione senza plasma nell’industria dei semiconduttori, nella produzione di combustibile per reattori nucleari, storicamente come componente nei combustibili per missili e in molte altre operazioni industriali.

Fino a pochi anni dopo, la Germania ha ignorato questa sostanza chimica perché troppo infiammabile. Ha attirato l’interesse come potenziale arma. I tedeschi hanno considerato l’impatto che una pioggia avrebbe sui soldati e sull’equipaggiamento nemici considerando tutto ciò che fa e può realizzare. Brucerebbero fisicamente in una nuvola di acido fluoridrico e cloridrico, incendiandosi. Hanno scelto il nome poco attraente “Sostanza N” per questo. (Se dipendesse da me, sceglierei qualcosa come “Chemical X”).

Ulteriore sviluppo e produzione sono stati trasferiti al complesso industriale di Falkenhagen. Qui hanno cercato di produrre abbastanza materiale per armamenti pratici per molti anni. Inizialmente, si prevedeva di generare 50 tonnellate di sostanza N ogni mese da utilizzare per fondere cemento, metallo e carne umana.

Il trifluoruro di cloro viene utilizzato per pulire le camere di deposizione di vapori chimici nell’industria dei semiconduttori. Presenta il vantaggio di consentire la rimozione del materiale semiconduttore dalle pareti della camera senza dover smontare la camera. A differenza della maggior parte delle sostanze chimiche sostitutive utilizzate in questa funzione, non richiede l’uso del plasma per l’attivazione poiché il calore nella camera è sufficiente a provocarne la rottura e l’interazione con il materiale semiconduttore.

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